银纳米浆/金电极界面中一种新型的机械降解机制:晶界扩散引发的类似柯肯达尔效应的空洞形成

《Journal of Materials Science & Technology》:A novel mechanical degradation mechanism in Ag nanopaste/Au pad interface: Grain boundary diffusion-induced Kirkendall-like voids

【字体: 时间:2026年01月17日 来源:Journal of Materials Science & Technology 14.3

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  本研究揭示了高温(>250°C)下Ag-Au烧结接头的新降解机制。与Ag-Ag接头单调强度提升不同,Ag-Au接头在275°C/1 h达到强度峰值后显著退化,归因于界面处异常大的Kirkendall空洞(最大1.8 μm)。通过多尺度表征,确定了晶界扩散的三阶段过程:晶界拓宽伴随堆垛层错和缺陷形成(阶段1);形成Ag富集的带状合金(阶段2);晶界扩散结构的横向生长消耗Au晶粒(阶段3)。同时量化了相邻Au晶体中的晶格收缩(5.9%-8.8%),并指出这是由晶界Ag积累产生的应力场所致。研究结果为高功率封装中垫材料的选择提供了新见解。

  
王一平|冯佳云|童子瑞|吴鹏|王润泽|马新阳|王尚|梁建超|金帅|于明翰|田艳红
哈尔滨工业大学材料与结构精密焊接与连接国家重点实验室,哈尔滨 150001,中国

摘要

本研究揭示了在高温条件(>250°C)下Ag-Au烧结接头的一种新型退化机制。与Ag-Ag接头不同,后者随着烧结温度的升高其强度呈单调递增趋势,而Ag-Au接头在275°C/1小时时达到峰值强度后出现显著退化。我们将这种异常现象归因于界面处形成了异常大的(最大达1.8 μm)Kirkendall型空洞。通过多尺度表征,确定了三个阶段的晶界扩散过程:(1)晶界因堆垛错位和缺陷而扩大;(2)结晶形成条带状富银合金;(3)通过堆垛错位消耗银颗粒的横向生长。此外,还量化了相邻银晶体中的晶格收缩(5.9%–8.8%),这归因于晶界处银的积累所产生的应力场。这些发现为高功率封装中垫片材料的选择提供了新的见解。

引言

随着第三代宽禁带半导体材料(如SiC和GaN)在电力设备中的广泛应用,传统的基于Sn的热界面材料已无法满足对优异导热性和高温可靠性的要求[[1], [2], [3], [4]]。基于银纳米颗粒(Ag NP)的烧结浆料由于能够在低温下实现烧结,为高温应用提供了有前景的解决方案。结合其出色的导热性和导电性,这些浆料成为电力设备互连的最佳替代品[[5], [6], [7], [8], [9], [10], [11], [12], [13], [14], [15]]。
为了在芯片/基板与银纳米浆料之间形成坚固的热界面,已经开发了具有多种表面形态的金属(Au、Ag、Ni、Cu、Mn、Ti、Cr等)垫片[[16], [17], [18], [19], [20], [21]],作为界面冶金键合的中间过渡层。通常,银纳米浆料烧结接头具有多孔微观结构,界面处的孔隙积累往往是由于浆料与垫片之间的冶金键合不足所致。因此,长时间的热老化和电流应力作用下,界面处的孔隙会演变成机械薄弱点,包括大体积的空洞、薄的烧结颈甚至连续裂纹。因此,金属垫片与银浆料之间的冶金相互作用对接头的可靠性至关重要[22]。在这些金属材料中,Cu在空气中使用时会发生严重氧化,显著缩短接头寿命,而Ni和其他垫片与银纳米颗粒的粘附性较差[[23], [24], [25]]。Au和Ag因其化学稳定性(避免脆性金属间化合物)、匹配的晶格常数(Au: 0.408 nm, Ag: 0.409 nm)以及几乎相同的原子半径(Au: 0.144 nm, Ag: 0.145 nm)而成为最佳选择,这使得它们具有无限的固溶性和坚固的冶金键合能力。因此,Au和Ag垫片在工业生产和材料研究与设计中得到广泛应用,被认为是银纳米浆料烧结的最佳基底[26,27]。然而,Ag-Au接头结构仍存在挑战,例如不平衡的相互扩散会导致接头内孔隙的微观结构演变,相关研究仍不够充分[28]。
由于Au和Ag具有结构同源的面心立方(FCC)晶型和相似的晶格常数,关于这一二元体系中的相互扩散和晶界扩散的研究已经持续了几十年,使其成为扩散科学的关键前沿[[29], [30], [31], [32]]。由于Au和Ag的熔点较高,电子封装中常用的加工温度(低于300°C)属于低温范围。在这种条件下,Au-Ag相互扩散的程度非常有限;即使在250或300°C下退火数小时后,扩散距离也不会超过100 nm。因此,不会形成大规模的Kirkendall空洞[29,[33], [34], [35]],这可能会影响烧结结构的性能[36,37]。近年来,随着纳米材料的发展,这些材料的高表面能显著增强了原子扩散。在Au-Ag纳米材料体系中,这种加速的扩散速率可以促进Kirkendall效应,这种现象常用于纳米结构的可控合成[[38], [39], [40]]。然而,在烧结银领域,仍缺乏明确和系统的研究来证明互连结构中Kirkendall空洞的形成及其对接头性能的不利影响[34]。因此,理解纳米尺度晶粒扩散引起的结构演变及其相关的Kirkendall效应对于选择最佳的烧结垫片材料至关重要。
本研究系统地研究了纳米银浆料的烧结参数优化以及电力设备封装中垫片材料的选择,比较了在不同烧结条件下使用纳米银浆料和Au/Ag垫片形成的接头的性能差异。该研究揭示了在高温下烧结的Ag-Au接头中观察到的退化和失效机制:在300°C下烧结2小时后,烧结银与Au垫片之间的界面形成了异常大的Kirkendall型空洞,尺寸超过1.8 μm。此外,该研究证实了纳米银向Au垫片晶界扩散引起的晶格畸变,并阐明了由孪晶错位介导的晶界扩散结构的横向生长机制。这些发现阐明了Ag-Au烧结接头中的晶界扩散过程,并验证了Kirkendall型空洞的生长机制。

部分摘录

烧结接头制备方法

通过在陶瓷板上电沉积金属层来制备具有多层金属垫片的测试芯片和基板。层结构包括10 μm的Ni基层和2 μm的Au或Ag饰面层。然后将这些涂覆的陶瓷板切割成5 mm×5 mm的基板和2 mm×2 mm的芯片。组装前,将无压烧结银浆(日本Handa有限公司)通过丝网印刷方式涂覆在基板上,形成70 μm厚的层。

宏观性能

图1(a, b)展示了Ag纳米浆料烧结块体以及Ag-Au接头中Ag/Au界面的横截面形态,说明了在不同温度下不同烧结时间内的形态演变过程。在200°C下烧结1小时后,形成了致密的银网络,并在接头中出现了许多球形孔隙。随着烧结时间和温度的升高,内部孔隙的体积逐渐增大

结论

本研究系统地阐明了使用Au和Ag垫片烧结的Ag纳米浆料接头中的界面冶金演变和Kirkendall效应引起的退化机制。
  • (1)
    虽然Ag-Ag和Ag-Au接头都实现了优异的键合,但它们的高温烧结性能存在显著差异。Ag-Ag接头随着烧结温度和时间的增加而表现出剪切强度的持续提高(在300°C/2小时时达到36.9 MPa),而Ag-Au接头在达到峰值强度后
  • 作者贡献声明

    王一平:撰写 – 审稿与编辑,撰写 – 原稿,可视化,方法论,研究,正式分析,数据管理,概念化。冯佳云:撰写 – 审稿与编辑,撰写 – 原稿,验证,监督,方法论。童子瑞:研究。吴鹏:研究。王润泽:研究。马新阳:正式分析。王尚:可视化,方法论,正式分析。梁建超:方法论。金帅:研究。于明翰:

    利益冲突声明

    作者声明他们没有已知的可能会影响本文所述工作的竞争性财务利益或个人关系。

    致谢

    本工作得到了国家自然科学基金(编号:52205352)的财政支持。作者还衷心感谢哈尔滨工业大学分析测量中心的张正博先生。
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