基于ZrO2/ZnO异质结的柔性忆阻器,用于类脑计算

《Materials Science in Semiconductor Processing》:Flexible memristors based on ZrO 2/ZnO heterojunctions for neuromorphic computing

【字体: 时间:2026年01月22日 来源:Materials Science in Semiconductor Processing 4.6

编辑推荐:

  柔性人工突触器件的制备及其在神经形态计算中的应用研究。器件通过Au/ZrO2/ZnO/ITO/PET结构实现电阻开关特性,验证了短时/长时可塑性、成对脉冲增强效应和时序依赖可塑性,弯曲条件下性能稳定,CNN模型在MNIST和Fashion-MNIST数据集上达到良好识别精度,为神经形态网络开发提供新方案。

  
任启忠|聂灵辉|李东亮|江艳萍|江秀娟|唐新贵
中国广东省广州市广东省第二人民医院儿童行为发展康复中心

摘要

由忆阻器构建的类脑神经网络引起了广泛关注,有望突破传统冯·诺伊曼设计的限制。在本研究中,通过射频磁控溅射制备了一种灵活的人工突触器件,并对其电阻切换特性进行了研究。该器件在高电阻状态和低电阻状态之间的转换主要归因于导电丝的形成与断裂。该器件能够实现典型的突触行为,包括短期/长期可塑性、配对脉冲促进作用以及时间依赖性的峰值可塑性。重要的是,该器件在弯曲条件下仍保持稳定的突触特性。此外,基于该器件构建的卷积神经网络(CNN)在MNIST手写数字数据集和Fashion-MNIST服装数据集上表现出了良好的准确性。这些结果为未来创建有效的神经形态网络提供了一种可行的方法。

引言

随着信息存储需求的增加,传统冯·诺伊曼架构中CPU与内存之间的频繁数据传输已成为性能瓶颈,也是提高计算效率的主要障碍[[1], [2], [3], [4]]。研究人员和工程师正在寻求开发低功耗、高效率的计算机架构来解决这一问题[[5], [6], [7], [8]]。人类大脑是复杂性最高的生物计算机,由大约860亿个神经元组成,每个神经元拥有多达10,000个突触[9,10]。突触对于记忆和学习至关重要。忆阻器与生物突触非常相似,因为它们可以根据流经的电流改变电阻并“记住”这种电阻变化。这有助于降低能耗并实现高效计算,可能有助于突破传统冯·诺伊曼设计的局限[[11], [12], [13], [14], [15], [16], [17], [18]]。
迄今为止,关于TaOx/IGZO[19]、ZrO2/ZTO[20]和TiO2/ZrO2[21]等双层氧化膜的研究已经很多。这些薄膜为器件带来了长寿命、高耐用性和良好的导通/关断比[22]等优点。Dohee等人证明,在Cu/ZrO2界面插入一层致密的SiO2薄膜后,该器件能够实现稳定且可重复的多级重置切换特性,并成功模拟了经典的突触行为[23]。Kumar等人指出,通过在ZnO薄膜中插入一层薄的Al2O3,器件的切换性能得到提升,包括高电阻比(>102)、高耐用性(>104次循环)和在高温(120°C)下的稳定保持性[24]。上述研究主要基于电阻切换机制,而关于异质结神经形态器件的研究较少。
近年来,柔性技术因其多种优势(如可穿戴性、便携性、低成本以及可弯曲、折叠和扩展性)而受到广泛关注和研究。目前,柔性人工突触在灵活性方面取得了显著进展[[25], [26], [27], [28], [29], [30], [31]]。例如,Luo等人基于Al/Cs3Bi2I9/ITO制备的柔性人工突触实现了学习行为和突触可塑性。该器件还表现出出色的韧性和灵活性,即使在2000次弯曲循环后导电性也没有明显变化[32]。Oh等人展示了基于PVA的忆阻器在塑料基底上的优异机械柔韧性和耐用性。由于PVA介质的高水溶性,这种柔性忆阻器还被用作具有高生物降解性的瞬态器件[33]。柔性器件在神经形态网络领域具有巨大潜力。
针对上述问题,研究人员制备了一种异质结柔性神经形态器件。在本研究中,通过磁控溅射制备了Au/ZrO2/ZnO/ITO/PET柔性忆阻器,并将其用于研究生物突触可塑性,包括短期/长期可塑性、配对脉冲促进作用(PPF)[26,34,35]和尖峰时序依赖性可塑性(STDP)[36,37]。结果表明,ZrO2/ZnO忆阻器表现出良好的突触可塑性。更重要的是,该器件在弯曲条件下仍保持灵活性和稳定的突触特性。此外,在弯曲和平直状态下,该器件能够准确识别MNIST手写数字数据集和Fashion-MNIST服装数据集,识别准确率较高。这些结果表明该器件在神经形态计算领域具有巨大潜力,并在可穿戴技术中有广泛的应用前景。

实验部分

实验方法

本研究介绍了一种基于Au/ZrO2/ZnO/ITO/PET的柔性人工突触器件。ZrO2/ZnO作为中间层,ITO/PET作为忆阻器的基底和底部电极(BE),Au作为顶部电极(TE)。首先,分别在ITO/PET上溅射ZnO薄膜和ZrO2薄膜。实验参数如下:ZnO薄膜的目标纯度为99.9%,Ar流量为45 sccm,压力为0.5 pa,射频功率为60 W。

结果与讨论

图1(a)展示了器件的结构图。图1(b)和(c)分别展示了ZrO2/ZnO薄膜的横截面TEM图像以及Zr、Zn、O元素的EDS图像。薄膜的形态相对平坦,层状结构清晰。ZrO2和ZnO薄膜的厚度分别约为22 nm和44 nm。
通过XPS检测了ZrO2和ZnO的化学成分。图1(d)–(f)显示了Zr3d、Zn2p和O1s的XPS图像。如图1(d)所示,Zr3d能级...

结论

通过磁控溅射制备了Au/ZrO2/ZnO/ITO/PET柔性忆阻器。当器件施加不同电压时,其电阻也会相应变化。利用这一特性,实现了典型的突触行为,包括STP、LTP、PPF和STDP。此外,该器件还具有稳定且可重复的电阻切换比,文中讨论了其电阻切换机制,并提出了未来的研究方向。

作者贡献声明

任启忠:撰写原始稿件、数据可视化、软件开发、方法论设计、实验研究、数据分析。 聂灵辉:数据可视化、项目监督、项目管理、实验研究、资金筹集。 李东亮:数据可视化、软件开发、方法论设计、实验研究、数据管理。 江艳萍:数据可视化、项目监督、项目管理、实验研究。 江秀娟:数据可视化、项目监督、实验研究、数据分析。

利益冲突声明

作者声明没有已知的财务利益冲突或个人关系可能影响本文的研究结果。

致谢

本研究得到了国家自然科学基金(项目编号:12172093和11574057)、广东省基础与应用基础研究基金(项目编号:2021A1515012607)以及广州市基础与应用基础研究基金(项目编号:202160206)的财政支持。
相关新闻
生物通微信公众号
微信
新浪微博
  • 搜索
  • 国际
  • 国内
  • 人物
  • 产业
  • 热点
  • 科普

知名企业招聘

热点排行

    今日动态 | 人才市场 | 新技术专栏 | 中国科学人 | 云展台 | BioHot | 云讲堂直播 | 会展中心 | 特价专栏 | 技术快讯 | 免费试用

    版权所有 生物通

    Copyright© eBiotrade.com, All Rights Reserved

    联系信箱:

    粤ICP备09063491号