激光编程多孔硅的润湿性,通过光声显微镜进行可视化观察

《Optical Materials》:Laser-Programmable Wettability on Porous Silicon Visualized by Photoacoustic Microscopy

【字体: 时间:2026年02月20日 来源:Optical Materials 4.2

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  基于激光直写和光学分辨率光声显微镜(OR-PAM)的多孔硅(PSi)亲疏水性编程调控及生物传感应用,实现了微米级润湿性转换和96.5 ng/mL检测限。

  
苏泰宇|陈国|何鹏博|张珂|艾宇辰|陈松亮|涂长青
上海交通大学全球学院,中国上海200240

摘要

本研究介绍了一种新型的无掩模方法,通过激光书写技术在多孔硅(PSi)上实现可编程的润湿性控制,并利用光学分辨率光声显微镜(OR-PAM)对这一过程进行了可视化观察。与传统光刻方法不同,该方法能够以微米级的精度直接、定点地将疏水性PSi转化为亲水性区域。首先通过电化学蚀刻和1-辛烯硅氢化反应制备出疏水性PSi,形成带有烷基链的层次化多孔结构。聚焦的纳秒脉冲激光照射局部烧蚀并氧化多孔层,破坏表面的烷基结构,使水能够渗透到被照射的孔隙中,从而实现从疏水性到亲水性的可控制转变。润湿性的改变通过水接触角和光声(PA)成像进行了定量分析,观察到了最小线宽为40 μm的结果。利用PSi保留的光致发光(PL)特性,激光定义的亲水井被用作微型生化反应器进行蛋白质检测。一种基于PL淬灭的新生物测定方法实现了96.5 ng/mL的检测限,无需标记或复杂仪器。此外,相互连接的激光书写亲水通道展示了开放表面的微流控扩散和混合能力。这项研究开创了一个直接、可光学编程的平台,将激光图案化、PA成像和PL传感集成在PSi上,为下一代芯片实验室系统提供了创新途径。

引言

表面润湿性是一种基本的材料属性,在生物医学科学和工程中起着关键作用。当水接触角(WCA)低于90°时,表面被认为是亲水性的;当WCA超过90°时为疏水性;当WCA超过150°时为超疏水性。精确控制表面润湿性的能力已在多个领域得到探索,如油水分离[1]、自清洁[2]、防雾[3]、防腐[4]和集水[5]。在微流控技术中,润湿性工程的进步推动了开放表面流体技术和流体操控的创新[6],[7],[8]。更重要的是,可调表面润湿性已成为生物医学应用的关键因素,它直接影响细胞粘附、蛋白质吸附、组织工程、生物传感和药物输送[9],[10]。通过在微观和纳米尺度上调整润湿性,研究人员可以精确设计引导生物相互作用的界面。
硅是地球上第二丰富的元素(质量占比27.2%),仅次于氧[11],具有环境友好性,已成为半导体产业和生物医学工程中的核心材料。由于其优异的机械、化学和电子性能,硅被广泛应用于微电子学、生物传感器、组织支架和可植入医疗设备中。在自然状态下,硅片通常具有亲水性,因为其表面覆盖着一层以硅醇(Si–OH)基团终止的薄氧化层[12]。通过多种制备和改性策略,可以进一步调整其表面润湿性[13],[14],[15],[16],[17],[18],[19],[20]。例如,可以在硅表面上制作微纳双尺度柱阵列,将其固有的亲水性转化为超疏水性[13]。同样,调节表面粗糙度可以调控细胞粘附和蛋白质相互作用,从而将润湿性控制与生物医学响应直接联系起来[14],[15],[16]。除了表面结构外,化学功能化(如硅烷化或氟基涂层)提供了另一种改性的强大方法,可以制造出稳定的疏水性和超疏水性表面[15],[17]。这些多功能的策略凸显了硅作为平台材料的独特地位,其表面属性可以满足电子和生物医学应用的严格要求。
多孔硅(PSi)最初由Arthur Uhlir Jr.在1956年的电抛光实验中发现[21],并在1990年Canham发现其强烈的室温光致发光(PL)特性后受到广泛关注[22]。与块状硅不同,PSi具有极高的表面积与体积比、易于进行表面化学修饰、内在的光致发光特性、无毒性以及优异的生物相容性[23]。这些独特性质使PSi成为生物医学应用的理想平台。例如,PSi因其高载药能力和可控的释放动力学而被用作药物输送载体[24];利用其PL和光学干涉效应作为生物传感基底[25];由于其多孔结构和生物相容性,也被用作组织工程的支架[26]。此外,其表面润湿性可以调节以引导细胞粘附、蛋白质吸附和生物界面工程。为了利用这些功能,在硅基底上进行精确的图案化是必不可少的。传统方法(如光刻、电子束光刻和纳米压印光刻)可以实现微观和纳米尺度的图案形成[27],[28],但通常需要多个步骤和光刻胶处理。相比之下,激光直接书写技术作为一种有前景的替代方案出现,实现了无需掩模的图案化,并简化了工作流程。
在本研究中,我们利用光学分辨率光声显微镜(OR-PAM)辅助的激光书写技术在PSi上实现了可编程的润湿性控制。首先通过电化学蚀刻制备出疏水性PSi,形成层次化的微/纳米多孔结构,然后进行1-辛烯硅氢化反应,使PSi表面带有耐水的烷基链。随后,聚焦的纳秒脉冲激光束选择性地将疏水区域转化为亲水区域,使水能够渗透到孔隙中。当PSi被水渗透时,由于硅的吸收作用,光声(PA)信号能够有效通过水介质传输;而疏水性PSi则保留一层薄空气层,阻碍PA信号的传输。利用这一特性,利用OR-PAM在20 μm的横向分辨率下观察到了PSi上的微米级亲水图案。利用PSi的大表面积进行蛋白质捕获,使用激光书写的微小亲水井来限制不同浓度的HRP-链霉亲和素溶液的2-μL液滴,通过PL淬灭实现了96.5 ng/mL的检测限。最后,PSi上的相互连接的亲水通道实现了开放表面的微流控扩散和混合。

部分内容

PSi的制备

图1A展示了整个制备过程以及蛋白质捕获和检测的演示。疏水性PSi表面是通过电化学蚀刻并在p型硅片(6英寸,掺硼,<100>,5–10 Ω·cm)上进行1-辛烯钝化处理制备的。在硅片背面蒸发了一层15 nm Cr/200 nm Al双层作为阳极。然后将硅片安装在一个充满150 mL HF/MeOH电解液(体积比49% HF : MeOH = 13 : 22)的圆柱形腔室中。

结果与讨论

制备完成后,使用重量法测定PSi层的孔隙率为66%(支持信息,孔隙率估算)。该方法包括测量去除多孔层前后PSi样品的质量差异,并结合SEM图像获得的PSi厚度。对PSi样品进行了XRD分析,衍射图谱在2θ ≈ 69°处显示出主导峰,对应于Si (400)平面(图S2A)。这表明

结论

总之,本研究展示了一种利用激光书写技术在PSi上实现可编程表面润湿性调控的多功能策略,并通过OR-PAM对整个过程进行了可视化观察。首先通过电化学蚀刻制备出疏水性PSi,然后进行1-辛烯硅氢化反应,形成带有疏水性烷基链的微/纳米层次结构。通过控制激光照射,选择性地将疏水区域转化为亲水区域

作者贡献声明

陈松亮:撰写 – 审稿与编辑、监督、资源协调、项目管理、资金获取。涂长青:撰写 – 审稿与编辑、验证、监督、资源协调、项目管理、方法学设计、资金获取、数据管理、概念构思。张珂:实验研究、数据分析。艾宇辰:实验研究、数据分析。陈国:实验研究、数据分析。何鹏博:实验研究、数据分析。

利益冲突声明

作者声明没有利益冲突。

数据可用性声明

支持本文的数据已作为补充信息的一部分提供。

利益冲突声明

作者声明没有已知的财务利益或个人关系可能影响本文的研究结果。

致谢

本研究部分得到了国家自然科学基金NSFC)(项目编号62235013和82130057)的支持。
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