高灵敏度、热稳定的钯悬臂纳米间隙氢气传感器

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《Journal of Microelectromechanical Systems》：Highly-Sensitive Thermally-Stabilized Palladium Cantilever Nanogap H2 Sensor

【字体：大中小】 时间：2026年03月09日 来源：Journal of Microelectromechanical Systems 3.1

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　　氢传感器采用低应力Palladium纳米间隙结构，通过微加热器维持恒温，实现0.15 fF/ppm超高灵敏度，检测限10 ppm，响应时间390 ms，在55℃以下稳定性优异，抗CO、CO2等干扰气体，重复性良好。

摘要：

我们介绍了一种基于钯的新型纳米间隙氢气传感器，专为环境监测应用中的快速、低浓度氢气检测而设计。该传感器由一根长而导电、应力低的钯制悬臂梁组成，该悬臂梁与另一根长度不同的悬臂梁之间通过纳米级空气间隙隔开，这两根悬臂梁位于同一悬臂梁的尖端附近，从而形成一个对氢气敏感的电容器。悬臂梁固定在一个热绝缘的SiN膜上，该膜上集成了一个微加热器，用于保持传感器的恒定温度。当暴露在氢气中时，电容器的纳米间隙会减小，导致电容值发生变化，其氢气灵敏度为

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