基于共振的方法有效评估高达500 GHz的传输线的介电常数

研究基于探针后反射法（PBR）的亚太赫兹频段传输线特性参数提取技术，提出改进分析方法以提升有效介电常数ε_eff和品质因数Q的测量精度，覆盖至500GHz频率范围，有效解决传统TRL方法所需长传输线和大面积芯片的问题。

　　

摘要：

在亚太赫兹频率范围内精确表征传输线（TL）的特性对于可靠的高频电路设计至关重要。本研究通过实验验证了使用探针背面反射（PBR）方法来评估传输线的有效介电常数（ε_eff）和Q因子。该方法引入了一种新的分析技术，以提高ε_eff的测量精度。与传统需要较长传输线和较大芯片面积的透反射线（TRL）方法不同，PBR方法仅需较短的传输线即可实现准确测量。结合所提出的分析技术，PBR方法能够在高达500 GHz的连续频段内提供可靠的传输线介电常数和Q因子数值。