不同形状石英的力-频率系数统一模型

《INTERNATIONAL JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCES》:Unified model for force-frequency coefficient of different shape quartz

【字体: 时间:2026年03月28日 来源:INTERNATIONAL JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCES 9.4

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  力频效应石英晶体谐振器统一建模与验证研究,提出半分析性模型预测矩形等不同形状QCRs的力频系数(FFC),揭示几何形状对FFC的影响机制,应力分量平行于x晶轴为主导因素,通过有限元仿真和实验验证模型准确性,为传感器设计优化提供工具。

  
马丽霞|周强|易立军|王吉
浙江宁波大学机械与工程科学学院压电器件实验室,TXC-NBU联合研究中心,中国浙江省宁波市凤华路818号,315211

摘要

传感器在工程领域有着广泛的应用和显著的经济价值。基于石英晶体谐振器(QCRs)的力-频率效应的力传感器,由于具有优异的性能,已成为研究的重点。虽然圆形QCRs已经得到了充分研究,并且有经验性的力-频率系数(FFC)公式,但非圆形QCRs仍缺乏实用的FFC公式。在这项研究中,我们开发了一个半解析的统一模型,用于预测受到平行于x-晶体学轴的集中载荷作用的AT切割矩形石英晶体的FFC,并将其扩展到圆形、梯形、平行四边形、鼓形、正六边形和正八边形以及椭圆形石英晶体。研究揭示了FFC随几何形状变化的机制,发现平行于x-晶体学轴的应力分量是影响FFC的主要因素。该模型通过有限元仿真和实验进行了验证。这项工作可以为基于QCR的传感器的设计和优化提供有效的工具。

引言

传感器能够检测并传输来自环境的化学或物理信息,如光、温度和湿度,在日常生活、医疗治疗、工业工程和科学研究中发挥着至关重要的作用[[1], [2], [3], [4], [5], [6]]。在各种信号中,力和扭矩是与运动、变形、稳定性和失效相关的基本物理量。它们的精确测量在工程应用和科学研究中具有重要意义[[7], [8], [9], [10], [11], [12], [13]]。近年来,随着机器人技术[[14], [15], [16]]、先进医疗设备[[17], [18], [19]]和自动驾驶[20,21]的快速发展,对六轴力传感器等高端传感器的需求日益增长。这一趋势对力传感器的灵敏度、稳定性、精度、响应速度、容错性和成本效益提出了更高的要求。
基于石英晶体谐振器(QCRs)的力传感器因其快速响应、高灵敏度和高品质因数[[36], [37], [38]]等优点,已被广泛用于加速度[[22], [23], [24], [25]]、压力[[26], [27], [28], [29]]、倾斜度[[30]]、力[[31], [32], [33], [34]]和扭矩[[35]]的测量。QCRs基力传感器的工作原理是力-频率效应[[39,40]],即当石英晶体受到外力作用时,其共振频率会随着施加的力线性变化。频率变化与施加力之比称为力-频率系数(FFC),是评估传感器性能的关键参数[[35,41,42]]。
早期的力-频率效应研究主要集中在圆形QCRs上,这是由于技术原因[[43]]。然而,在实际传感器制造中,矩形QCRs通常更受欢迎,因为它们具有更简单的制造工艺、更容易集成以及更大的几何灵活性[[44], [45], [46], [47]]。例如,TXC(宁波)公司生产的许多QCRs都是矩形的。合成石英也可以制成其他典型形状,如梯形、平行四边形、鼓形、正多边形和椭圆形[[41]],为根据特定应用需求调整FFC提供了额外的自由度。此外,在六轴和三轴力传感器中,采用不同的结构设计以实现不同的传感和解耦效果,从而提供不同的优势和应用[[48], [49], [50]]。不同的力传感器结构设计需要不同的单元,其中矩形传感器尤为常见[[51,52]]。因此,研究不同形状石英的FFC对于填补这一研究空白至关重要,也符合不断增长的力和扭矩传感器市场的需求。
尽管非圆形QCRs在实际应用中非常重要,但对其FFC的理论建模仍然不足。除了圆形QCRs有Ratajski提出的经验性FFC公式[[43]]外,非圆形QCRs,尤其是工程应用型QCRs,仍然缺乏实用的FFC公式[[47],[53],[54],[55],[56],[57]]。例如,Wang等人[[41]]推导出了鼓形石英的FFC公式,但它依赖于复杂的计算。非圆形QCRs在集中载荷下的FFC主要通过实验[[47,53,58]]和使用增量非线性有限元方法(FEM)[[59,60]]的数值仿真获得。这两种方法对于传感器设计来说都相当复杂且效率低下。最近,我们为偏心载荷下的方形(矩形的一种特殊情况)石英建立了一个半解析FFC模型,并推导出了一个适用于工程应用的半解析FFC公式[[61]]。然而,由于问题的内在非线性和复杂性,目前仍缺乏适用于一般非圆形QCRs的广泛适用且计算效率高的FFC公式。此外,几何形状和尺寸如何影响石英晶体的力-频率效应的机制尚未完全阐明。一个统一的模型可以促进基于QCR的力传感器的发展和应用。
为了解决这些挑战,我们提出了一个统一的模型来预测矩形和其他典型形状石英晶体的FFC。本文的结构如下:第2节介绍了研究问题和目标。第3节推导了矩形石英晶体FFC的工程友好型半解析表达式。第4节研究了几何参数对矩形石英FFC的影响及相关机制,并提出了一个简化的分段半解析FFC模型。第5节将半解析表达式扩展到圆形、梯形、平行四边形、鼓形、正多边形和椭圆形QCRs。第6节通过FEM仿真和实验验证了该统一模型。

部分摘录

问题和目标概述

本研究考察了在平行于x-晶体学轴的集中载荷作用下的AT切割矩形QCRs和其他典型晶体几何形状,如图1所示。我们建立了一个半解析的统一模型,为这些QCRs的计算提供工程友好的FFC公式。基于该模型,并结合非线性FEM仿真,我们进一步分析了不同几何形状下的FFC特性和机制。

矩形石英FFC的半解析模型推导

本节重点开发和验证用于预测矩形QCRs FFC的半解析模型。推导过程首先用应力表示FFC,然后给出矩形QCR在集中载荷作用下的中心应力的半解析解。接着,我们提供了一个工程友好的矩形QCRs FFC公式。

矩形石英晶体在集中载荷作用下的FFC分析

为了研究矩形石英晶体在集中载荷作用下的FFC变化及其背后的机制,本节考虑了厚度为0.07毫米和0.1毫米、中心电极直径为0.8毫米、w范围从2毫米到20毫米、长宽比L/w范围从0.1到10的AT切割矩形QCRs。这些矩形石英晶体的FFC是通过非线性FEM仿真计算得出的,结果如图4所示。

基于矩形石英晶体的半解析模型预测其他形状石英晶体的FFC

在本节中,我们将为矩形石英晶体推导出的半解析FFC模型扩展到其他几何形状,通过将其近似为等效的内接或外接矩形来实现。基于这种等效矩形近似,我们推导出了圆形、梯形、平行四边形、鼓形、正多边形和椭圆形石英晶体的FFC公式,使工程师能够高效地计算它们的FFC。这种方法的验证

验证

在本节中,通过将预测的FFC与实验结果和有限元方法(FEM)仿真结果进行比较,验证了所提出的统一分段半解析模型,包括方形、矩形、圆形和鼓形QCRs。由于制造难度,其他形状的QCRs未在此讨论。用于比较的实验数据包括文献中报道的数据和我们在工作中获得的测量数据。

结论

本研究探讨了在平行于x-晶体学轴的集中载荷作用下,不同尺寸的矩形和其他形状QCRs的力-频率效应。为了解决非圆形QCRs的力-频率效应缺乏直接模型的问题,我们专注于提供一个统一的、工程友好的FFC公式。我们发现了决定QCRs FFC的机制,即平行于x1的中心应力分量

CRediT作者贡献声明

马丽霞:撰写——原始草稿、软件、方法论、研究。周强:方法论、概念化。易立军:撰写——审阅与编辑、撰写——原始草稿、监督、软件、方法论、研究、形式分析、概念化。王吉:项目管理、资金获取。
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